隨著半導體需求增長,半導體行業使用、處理和管理水資源變得愈加重要。相關政策法規也相應頒布用以指導半導體綠色發展,比如《電子器件(半導體芯片)制造業清潔生產指標體系》(中國大陸),《電子零組件制造業產業用水最適化及節水技術指導》(中國臺灣)等。在政策指導下,企業也積極作為,探索以綠色為底色的高質量發展之路。高頻科技作為先進超純水技術服務商通過綠色廠務緩解水資源風險,助力半導體企業降本增效,實現可持續發展。

降本增效應對行業競爭,綠色水工廠打造刻不容緩

半導體是高度用水密集型行業。行業統計數據表明,芯片生產的先進制程技術越進步,清洗步驟越多,用水量會呈指數級提升。典型的8吋晶圓的生產制造,每片需要消耗約2-4噸水;大于28納米制程的12吋晶圓生產制造,每片需要消耗約6-7噸水;當制程達到14-28納米時,12吋晶圓生產制造每片需要消耗約18-20噸水。而晶圓廠的產能通常是每月數萬片甚至數十萬片,由此可見,晶圓廠每月的耗水量有多驚人。隨著半導體行業開始進入“后摩爾定律時代”,資源利用率已經成為制約半導體產業發展的核心要素之一。

提升半導體用水效能,是半導體企業降本增效,提高競爭力的一大突破口。比如臺積電通過自主節水(降低系統排水損失、廠務系統用水減量、增加廠務廢水回收、提升系統產水量等)及再生水替代措施,每滴水的使用率超過350%,從而達成用水總量管制目標,實現節流效益。隨著安平再生水廠的落成,將幫助臺積電節水效率進一步提升,達成 2030 年全公司用水 60% 替代率的目標。

由此可見,不管是為降低“水荒”風險,還是推動半導體企業降本增效、增強核心競爭力,綠色水工廠的打造都刻不容緩。

高頻科技綠色水務,助半導體企業高質量發展

半導體制造業的水資源管理可分為用水、廢水管理以及再生水三大方面。作為半導體產業鏈上極為重要的一環,高頻科技積極探索,從覆蓋半導體企業用水生命周期整體流程統籌規劃,通過事前規劃、專家運維、綠色水系統創新等維度打造“綠色廠務工廠”,協助半導體企業做好水資源管理,實現降本增效。

用水方面,高頻科技目前已經完全掌握了先進半導體制程需要使用的超純水生產的全部核心工藝,特別是在PPB級別的TOC,溶解氧去除,以及PPT級別的硼、硅等特殊物質的去除方面有自己的成熟經驗,通過技術把控和工程實踐,從工藝層面幫助半導體企業提升超純水使用效率。

高頻科技還通過水處理技術突破,實現資源“循環增效”。高頻科技回用水系統及廢水收集處理系統,可以幫助半導體企業減少廢水量、減少用水量、減少能耗、減少化學品使用、減少設備使用損耗,通過保障環保指標、保障水制程回收率、保障微量元素回收利用來實現對綠色廠務水平的綜合保障。目前已實現水制程回收率75%-90%,助力半導體企業持續提升經濟循環績效。

依托公司大批自有優秀半導體水系統專家的資深經驗,高頻科技創立了標準化運維專家模型,為半導體工廠量身定制一體化運維服務體系,逐步實現專家數據化,滿足客戶可預見式養護、常規周期巡檢、應急故障處理等全周期運維需求,在協助降本增效的同時,通過數字化運維提質增效,保障業務系統的穩定運行,讓客戶省心、放心、舒心! 未來, 高頻科技還將在結合人工智能、大數據和云計算基礎上的智慧廠務工廠建設中提供解決方案,同時將在工廠運維方面提供除傳統方式外的更多選項,助力客戶進一步提升運維效率和體驗。

對半導體行業而言,即使有高端人才和尖端技術,水資源短缺也會使生產面臨巨大挑戰,水資源利用率不足將會成為掣肘企業發展的關鍵。當下,在半導體成全球戰略性產業的大背景下,水資源管理對于半導體行業安全,以及半導體企業降本增效都意義重大。高頻科技基于多年的半導體水系統經驗積累,植入綠色工廠理念,為客戶提供領先的超純水與循環再生解決方案及裝備,為企業提質增效提供了新動力,也為保障半導體行業用水安全做出積極探索和貢獻。