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聚焦超純水系統核心技術,GOALPURE為“芯”護航
2022/11/9 21:14:10 來源:搜狐網 【字體:大 中 小】【收藏本頁】【打印】【關閉】
核心提示:據彭博社日前引述知情人士的話報道稱,華盛頓本月又將派人赴荷蘭施壓,就限制對華先進芯片技術出口舉行新一輪談判,阻止荷蘭光刻機生產企業阿斯麥(ASML)對華供貨。據彭博社日前引述知情人士的話報道稱,華盛頓本月又將派人赴荷蘭施壓,就限制對華先進芯片技術出口舉行新一輪談判,阻止荷蘭光刻機生產企業阿斯麥(ASML)對華供貨。這意味著美國對我國在芯片領域的打壓還會持續加碼,國芯自強將是芯片板塊的長期主線。事實上,國產芯片近年來取得長足發展,尤其是與芯片生產息息相關的超純水領域。國內領先的超純工藝技術企業,立足自身在芯片、顯示等半導體高端制造行業超純水領域二十多年的超純工藝經驗和技術能力,專注于超純水與循環再生解決方案中的關鍵工藝產品及化學藥劑的研發、推廣和應用,推出了產品獨立子品牌GOALPURE,致力于持續優化并賦能領先的超純水與循環再生解決方案及裝備,為客戶創造潔凈、可持續的水環境。
創新反滲透膜元件
反滲透技術是超純水制造過程的核心技術之一,GOALPURE品牌聚焦于半導體超純水反滲透技術,定制研發并生產了更加精準、穩定、通量更高、能耗更低的GOALPURE系列反滲透膜元件。系列包括低壓反滲透膜元件、低壓高脫鹽率反滲透膜元件、超低壓高脫鹽率反滲透膜元件、抗污染反滲透膜元件、增強型抗污染反滲透膜元件、廢水回用抗污染反滲透膜元件和低能耗抗污染反滲透膜元件,多角度滿足半導體超純水系統對反滲透膜的高端要求。
面對半導體超純水系統實際運用場景,GOALPURE系列反滲透膜元件產品膜片在制備過程中,通過改善聚酰胺層結構的界面聚合過程單體擴散速度,強化脫鹽層結構,脫鹽層厚度由常規約150nm提高至約300nm,在大幅提高產品穩定性的同時,提高膜片耐化學清洗性能。為滿足半導體超純水系統的高端要求,GOALPURE系列反滲透膜元件產品優化了原料及工藝,對Cl-、NO3-、HCO3-、硼等雜離子和TOC的脫除率均優于進口對標產品。此外,GOALPURE系列反滲透膜元件對異丙醇、甘氨酸、葡萄糖等有機物脫除率較進口對標產品更高,在不同pH值條件下都有一致甚至更優的性能,且在酸性、低壓、高溫、高鹽條件下性能領先。
定制超純水用樹脂系列產品
GOALPURE超純水處理專用樹脂系列產品,定向滿足了半導體超純水離子交換工藝中對樹脂高交換容量、窄粒徑分布、化學物理穩定性極佳、抗滲透沖擊性出色的高端技術要求。系列擁有品系豐富的水處理系列樹脂,涉及陰陽離子交換樹脂、混床樹脂、拋光樹脂等不同類型、不同級別和不同規格;
為更好的滿足半導體超純水系統的實際需求, GOALPURE樹脂系列產品使用均粒白球生產技術。相對于常規樹脂,產品具有使用壽命長,痕量離子去除效果好,潔凈度高等優勢,達到進口對標產品同一水平。該系列的2B3T樹脂相較于進口對標產品擁有更高的體積全交換量和磨后圓球率、更快的精度提升、更大的制水量、更優的處理精度以及一致甚至更優的抗氧化性,滿足2B3T系統長周期、復雜工況運行要求;該系列的混床樹脂實測性能指標如體積全交換量、均一系數等優于國外競品;拋光樹脂滿足高端面板級超純水應用要求,經過長時間生產、運行、驗證,完全具備國外同等產品替代能力
升級氣液分離膜接觸器
依托膜組件“編織+布水管+擋板”的核心獨特結構,GOALPURE氣液分離膜接觸器為半導體行業定制研發并制造,完成傳統技術無法實現的高精度吸收和解析,持續滿足泛半導體超純水脫氧、脫碳等膜脫氣應用向高功效、低能耗不斷演進的技術要求。氣體在水中的溶解度相差非常大,即使是氧氣和二氧化碳,溶解度也相差30~40倍。因此GOALPURE針對不同溶解度的氣體,結合半導體行業實際應用場景,開發了專用于半導體超純水系統氧氣脫除和二氧化碳脫除的兩個氣液分離膜接觸器子系列。
GOALPURE氣液分離膜接觸器具有編織、中心管布水、擋板等獨特結構,傳質KA值達到塔器的10倍以上,膜材料兩側的氣體濃度可以做到幾乎相等,進而完成傳統的塔法等氣液接觸技術無法實現的高精度吸收和解析。
迭代水處理藥劑系列產品
水處理藥劑產品是半導體超純水系統運維服務的關鍵,GOALPURE水處理藥劑系列產品適配了更加精準、更加穩定的藥劑配方,持續滿足半導體超純水運維中高端工藝和技術演進的要求。該系列產品專注于半導體水處理化學藥劑使用的特殊行業屬性,聯合研發并定制半導體制程過程中必不可缺的水處理化學藥劑及相關解決方案,不斷應對半導體生產高速增長、特別是高階制程帶來的多樣化、高挑戰的應用需求。
目前,GOALPURE水處理藥劑系列產品涵蓋阻垢劑、非氧化殺菌劑和清洗劑,為半導體超純水日常運維服務中核心工藝之一的反滲透系統,提供了更加適合、更加穩定藥劑配方,滿足最優化的運維服務。
芯片產業是一個國家高端制造能力的綜合體現,中國芯片突圍仍在奮力進行。在不遠的未來,GOALPURE系列產品還將通過自研或聯合研發的方式,推出紫外線裝置系列產品,電滲析(EDI)系列產品等超純水與循環再生解決方案中的關鍵工藝產品,在超純水領域為中國芯片添磚加瓦。國芯自強,指日可待!
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